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高纯特种气体供应系统

气体供应系统主要用于运输半导体、泛半导体行业生产制程所需的几十种腐蚀有毒、易燃易爆大宗气及特种气体。设备功能包含自动吹扫、自动切换、安全切断等,采用PLC控制、人机操作界面,可实现电子级特种气体不间断、安全供应,满足客户纯度及工艺控制需求。

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