Unsere Leistungen

Gasversorgungssysteme

Gasversorgungssysteme werden hauptsächlich zur Versorgung mit verschiedenen korrosiven, toxischen, entzündbaren und explosiven Prozess- sowie Spezialgasen eingesetzt, die für Fertigungsprozesse in der Halbleiter- und Displayindustrie erforderlich sind. Diese Systeme verfügen über automatische Spülfunktionen, automatische Umschaltung und Sicherheitsabschalteinrichtungen und werden über eine SPS mit HMI-Schnittstelle gesteuert. Dadurch wird eine kontinuierliche und sichere Versorgung mit elektronischen Spezialgasen gewährleistet, während gleichzeitig strenge Anforderungen an Reinheit und Prozesskontrolle erfüllt werden.

Unsere Produkte

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